真空齿轮泵是用机械方法,使泵的工作室不断增大或缩小,当工作室的容积变得小时,即与真空泵的入气管连通,于是气体就进入逐渐变大的工作室空间;当工作室的容积扩大时,即与入气管分开,使容积阀就打开,把压缩气体通过油层排出。泵腔内容积不断膨胀与压缩,完成吸气和排气过程,使容器内气体逐渐排出达到需要的真空度。真空泵运行时,随着泵腔内转子的旋转,转子上两个纵向槽中的滑片或偏心轮上的滑阀环,紧贴着定子的内壁滑动,转子、滑片与定子内壁必然依靠油品的润滑性避免摩擦副材料的擦伤,利用油品隔离大气,并带走因摩擦产生的热量。因此,真空齿轮泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。